دانلود مقاله ISI انگلیسی شماره 139301
ترجمه فارسی عنوان مقاله

فیلم های نازک کربنیکدری سیلیس که توسط اسپکترومغناطیسی مگنترون ضربه ای واکنش دهنده پوشیده شده است

عنوان انگلیسی
Silicon carbonitride thin films deposited by reactive high power impulse magnetron sputtering
کد مقاله سال انتشار تعداد صفحات مقاله انگلیسی ترجمه فارسی
139301 2018 41 صفحه PDF سفارش دهید
دانلود فوری مقاله + سفارش ترجمه

نسخه انگلیسی مقاله همین الان قابل دانلود است.

هزینه ترجمه مقاله بر اساس تعداد کلمات مقاله انگلیسی محاسبه می شود.

این مقاله تقریباً شامل 10741 کلمه می باشد.

هزینه ترجمه مقاله توسط مترجمان با تجربه، طبق جدول زیر محاسبه می شود:

شرح تعرفه ترجمه زمان تحویل جمع هزینه
ترجمه تخصصی - سرعت عادی هر کلمه 12 تومان 17 روز بعد از پرداخت 128,892 تومان
ترجمه تخصصی - سرعت فوری هر کلمه 24 تومان 9 روز بعد از پرداخت 257,784 تومان
پس از پرداخت، فوراً می توانید مقاله را دانلود فرمایید.
منبع

Publisher : Elsevier - Science Direct (الزویر - ساینس دایرکت)

Journal : Surface and Coatings Technology, Volume 335, 15 February 2018, Pages 248-256

پیش نمایش مقاله
پیش نمایش مقاله فیلم های نازک کربنیکدری سیلیس که توسط اسپکترومغناطیسی مگنترون ضربه ای واکنش دهنده پوشیده شده است

چکیده انگلیسی

Amorphous silicon carbonitride thin films for biomedical applications were deposited in an industrial coating unit from a silicon target in different argon/nitrogen/acetylene mixtures by reactive high power impulse magnetron sputtering (rHiPIMS). The effects of acetylene (C2H2) flow rate, substrate temperature, substrate bias voltage, and HiPIMS pulse frequency on the film properties were investigated. Low C2H2 flow rates (<10 sccm) resulted in silicon nitride-like film properties, seen from a dense morphology when viewed in cross-sectional scanning electron microscopy, a hardness up to ∼22 GPa as measured by nanoindentation, and Si-N bonds dominating over Si-C bonds in X-ray photoelectron spectroscopy core-level spectra. Higher C2H2 flows resulted in increasingly amorphous carbon-like film properties, with a granular appearance of the film morphology, mass densities below 2 g/cm3 as measured by X-ray reflectivity, and a hardness down to 4.5 GPa. Increasing substrate temperatures and bias voltages resulted in slightly higher film hardnesses and higher compressive residual stresses. The film H/E ratio showed a maximum at film carbon contents ranging between 15 and 30 at.% and at elevated substrate temperatures from 340 °C to 520 °C.

دانلود فوری مقاله + سفارش ترجمه

نسخه انگلیسی مقاله همین الان قابل دانلود است.

هزینه ترجمه مقاله بر اساس تعداد کلمات مقاله انگلیسی محاسبه می شود.

این مقاله شامل 10741 کلمه می باشد.

هزینه ترجمه مقاله توسط مترجمان با تجربه، طبق جدول زیر محاسبه می شود:

شرح تعرفه ترجمه زمان تحویل جمع هزینه
ترجمه تخصصی - سرعت عادی هر کلمه 12 تومان 17 روز بعد از پرداخت 128,892 تومان
ترجمه تخصصی - سرعت فوری هر کلمه 24 تومان 9 روز بعد از پرداخت 257,784 تومان
پس از پرداخت، فوراً می توانید مقاله را دانلود فرمایید.