دانلود مقاله ISI انگلیسی شماره 149263
کد مقاله سال انتشار مقاله انگلیسی ترجمه فارسی تعداد کلمات
149263 2018 6 صفحه PDF سفارش دهید 2290 کلمه
خرید مقاله
پس از پرداخت، فوراً می توانید مقاله را دانلود فرمایید.
عنوان انگلیسی
MEMS pressure sensor based on optical Fabry–Perot interference
منبع

Publisher : Elsevier - Science Direct (الزویر - ساینس دایرکت)

Journal : Optik, Volume 165, July 2018, Pages 35-40

پیش نمایش مقاله
پیش نمایش مقاله

چکیده انگلیسی

In this paper, we present a microelectromechanical systems pressure sensor based on Fabry–Perot interference using anodic bonding, and the design principles and basic mechanical model are introduced. It is found that there is a difference between the experimental and theoretical deflections; thus, it is necessary to consider the actual structure. Furthermore, the sensor is fabricated using lithography, etching, and anodic bonding. Within the pressure measurement range of 0–0.1 MPa, the linearity is 99.996%, and the sensitivity is 74.6 nm MPa–1. The test results indicate that the deflection is consistent with the theoretical analysis.

خرید مقاله
پس از پرداخت، فوراً می توانید مقاله را دانلود فرمایید.