دانلود مقاله ISI انگلیسی شماره 149263
عنوان انگلیسی
MEMS pressure sensor based on optical Fabry–Perot interference
کد مقاله سال انتشار تعداد صفحات مقاله انگلیسی ترجمه فارسی
149263 2018 6 صفحه PDF سفارش دهید
دانلود فوری مقاله + سفارش ترجمه

نسخه انگلیسی مقاله همین الان قابل دانلود است.

هزینه ترجمه مقاله بر اساس تعداد کلمات مقاله انگلیسی محاسبه می شود.

این مقاله تقریباً شامل 2290 کلمه می باشد.

هزینه ترجمه مقاله توسط مترجمان با تجربه، طبق جدول زیر محاسبه می شود:

شرح تعرفه ترجمه زمان تحویل جمع هزینه
ترجمه تخصصی - سرعت عادی هر کلمه 12 تومان 7 روز بعد از پرداخت 27,480 تومان
ترجمه تخصصی - سرعت فوری هر کلمه 24 تومان 4 روز بعد از پرداخت 54,960 تومان
پس از پرداخت، فوراً می توانید مقاله را دانلود فرمایید.
منبع

Publisher : Elsevier - Science Direct (الزویر - ساینس دایرکت)

Journal : Optik, Volume 165, July 2018, Pages 35-40

پیش نمایش مقاله
پیش نمایش مقاله

چکیده انگلیسی

In this paper, we present a microelectromechanical systems pressure sensor based on Fabry–Perot interference using anodic bonding, and the design principles and basic mechanical model are introduced. It is found that there is a difference between the experimental and theoretical deflections; thus, it is necessary to consider the actual structure. Furthermore, the sensor is fabricated using lithography, etching, and anodic bonding. Within the pressure measurement range of 0–0.1 MPa, the linearity is 99.996%, and the sensitivity is 74.6 nm MPa–1. The test results indicate that the deflection is consistent with the theoretical analysis.

دانلود فوری مقاله + سفارش ترجمه

نسخه انگلیسی مقاله همین الان قابل دانلود است.

هزینه ترجمه مقاله بر اساس تعداد کلمات مقاله انگلیسی محاسبه می شود.

این مقاله شامل 2290 کلمه می باشد.

هزینه ترجمه مقاله توسط مترجمان با تجربه، طبق جدول زیر محاسبه می شود:

شرح تعرفه ترجمه زمان تحویل جمع هزینه
ترجمه تخصصی - سرعت عادی هر کلمه 12 تومان 7 روز بعد از پرداخت 27,480 تومان
ترجمه تخصصی - سرعت فوری هر کلمه 24 تومان 4 روز بعد از پرداخت 54,960 تومان
پس از پرداخت، فوراً می توانید مقاله را دانلود فرمایید.