دانلود مقاله ISI انگلیسی شماره 56066
عنوان فارسی مقاله

روش جدید بهبود پایداری حرارتی مبتنی بر کربن برای NiPtSi مورد استفاده در تکنولوژی CMOS

کد مقاله سال انتشار مقاله انگلیسی ترجمه فارسی تعداد کلمات
56066 2011 5 صفحه PDF سفارش دهید محاسبه نشده
خرید مقاله
پس از پرداخت، فوراً می توانید مقاله را دانلود فرمایید.
عنوان انگلیسی
New carbon-based thermal stability improvement technique for NiPtSi used in CMOS technology
منبع

Publisher : Elsevier - Science Direct (الزویر - ساینس دایرکت)

Journal : Microelectronic Engineering, Volume 88, Issue 5, May 2011, Pages 578–582

کلمات کلیدی
NiPt سیلیسید؛ پایداری حرارتی؛ کربن؛ CMOS
پیش نمایش مقاله
پیش نمایش مقاله روش جدید بهبود پایداری حرارتی مبتنی بر کربن برای NiPtSi مورد استفاده در تکنولوژی CMOS

چکیده انگلیسی

A new carbon-based thermal stability improvement technique is proposed for nickel silicide. Carbon implantation is well known to improve the thermal stability of Ni-based silicides, but its process window is small. An experiment has been performed to identify and introduce new process steps which improve the thermal stability and which can be integrated into a CMOS technology platform without a significant cost increase. No yield issues have been observed up to 700 °C 30 min post-silicidation thermal budget even for the narrowest silicided silicon lines. NiPtSi encroachment, which is one of the main yield killers for Sub-65 nm technologies, has not been seen. The device scalability is not affected and a similar performance has been achieved with an additional post-silicidation thermal budget. Through in-depth understanding of this approach, new integration schemes like for instance a gate-last process flow can be envisioned.

خرید مقاله
پس از پرداخت، فوراً می توانید مقاله را دانلود فرمایید.