دانلود مقاله ISI انگلیسی شماره 56066
ترجمه فارسی عنوان مقاله

روش جدید بهبود پایداری حرارتی مبتنی بر کربن برای NiPtSi مورد استفاده در تکنولوژی CMOS

عنوان انگلیسی
New carbon-based thermal stability improvement technique for NiPtSi used in CMOS technology
کد مقاله سال انتشار تعداد صفحات مقاله انگلیسی ترجمه فارسی
56066 2011 5 صفحه PDF سفارش دهید
دانلود فوری مقاله + سفارش ترجمه

نسخه انگلیسی مقاله همین الان قابل دانلود است.

هزینه ترجمه مقاله بر اساس تعداد کلمات مقاله انگلیسی محاسبه می شود.

این مقاله تقریباً شامل 1853 کلمه می باشد.

هزینه ترجمه مقاله توسط مترجمان با تجربه، طبق جدول زیر محاسبه می شود:

شرح تعرفه ترجمه زمان تحویل جمع هزینه
ترجمه تخصصی - سرعت عادی هر کلمه 12 تومان 5 روز بعد از پرداخت 22,236 تومان
ترجمه تخصصی - سرعت فوری هر کلمه 24 تومان 3 روز بعد از پرداخت 44,472 تومان
پس از پرداخت، فوراً می توانید مقاله را دانلود فرمایید.
منبع

Publisher : Elsevier - Science Direct (الزویر - ساینس دایرکت)

Journal : Microelectronic Engineering, Volume 88, Issue 5, May 2011, Pages 578–582

ترجمه کلمات کلیدی
NiPt سیلیسید؛ پایداری حرارتی؛ کربن؛ CMOS
کلمات کلیدی انگلیسی
NiPt-silicide; Thermal stability; Carbon; CMOS
پیش نمایش مقاله
پیش نمایش مقاله روش جدید بهبود پایداری حرارتی مبتنی بر کربن برای NiPtSi مورد استفاده در تکنولوژی CMOS

چکیده انگلیسی

A new carbon-based thermal stability improvement technique is proposed for nickel silicide. Carbon implantation is well known to improve the thermal stability of Ni-based silicides, but its process window is small. An experiment has been performed to identify and introduce new process steps which improve the thermal stability and which can be integrated into a CMOS technology platform without a significant cost increase. No yield issues have been observed up to 700 °C 30 min post-silicidation thermal budget even for the narrowest silicided silicon lines. NiPtSi encroachment, which is one of the main yield killers for Sub-65 nm technologies, has not been seen. The device scalability is not affected and a similar performance has been achieved with an additional post-silicidation thermal budget. Through in-depth understanding of this approach, new integration schemes like for instance a gate-last process flow can be envisioned.

دانلود فوری مقاله + سفارش ترجمه

نسخه انگلیسی مقاله همین الان قابل دانلود است.

هزینه ترجمه مقاله بر اساس تعداد کلمات مقاله انگلیسی محاسبه می شود.

این مقاله شامل 1853 کلمه می باشد.

هزینه ترجمه مقاله توسط مترجمان با تجربه، طبق جدول زیر محاسبه می شود:

شرح تعرفه ترجمه زمان تحویل جمع هزینه
ترجمه تخصصی - سرعت عادی هر کلمه 12 تومان 5 روز بعد از پرداخت 22,236 تومان
ترجمه تخصصی - سرعت فوری هر کلمه 24 تومان 3 روز بعد از پرداخت 44,472 تومان
پس از پرداخت، فوراً می توانید مقاله را دانلود فرمایید.