دانلود مقاله ISI انگلیسی شماره 56100
ترجمه فارسی عنوان مقاله

ادغام رسنترس MEMS در تکنولوژی CMOS با 65 نانومتر

عنوان انگلیسی
Integration of NEMS resonators in a 65 nm CMOS technology
کد مقاله سال انتشار تعداد صفحات مقاله انگلیسی ترجمه فارسی
56100 2013 4 صفحه PDF سفارش دهید
دانلود فوری مقاله + سفارش ترجمه

نسخه انگلیسی مقاله همین الان قابل دانلود است.

هزینه ترجمه مقاله بر اساس تعداد کلمات مقاله انگلیسی محاسبه می شود.

این مقاله تقریباً شامل 2174 کلمه می باشد.

هزینه ترجمه مقاله توسط مترجمان با تجربه، طبق جدول زیر محاسبه می شود:

شرح تعرفه ترجمه زمان تحویل جمع هزینه
ترجمه تخصصی - سرعت عادی هر کلمه 12 تومان 5 روز بعد از پرداخت 26,088 تومان
ترجمه تخصصی - سرعت فوری هر کلمه 24 تومان 3 روز بعد از پرداخت 52,176 تومان
پس از پرداخت، فوراً می توانید مقاله را دانلود فرمایید.
منبع

Publisher : Elsevier - Science Direct (الزویر - ساینس دایرکت)

Journal : Microelectronic Engineering, Volume 110, October 2013, Pages 246–249

ترجمه کلمات کلیدی
NEMS؛ CMOS-NEMS؛ رسنترس؛ RF-MEMS؛ روند انتشار؛ سنسور توده
کلمات کلیدی انگلیسی
NEMS; CMOS-NEMS; Resonators; RF-MEMS; Releasing process; Mass sensor
پیش نمایش مقاله
پیش نمایش مقاله ادغام رسنترس MEMS در تکنولوژی CMOS با 65 نانومتر

چکیده انگلیسی

In this work we study the feasibility to obtain the smallest CMOS-NEMS resonator using a sub-100 nm CMOS technology. The NEMS resonators are defined in a top-down approach using the available layers of the 65 nm CMOS technology from ST Microelectronics. A combination of dry and wet etching is developed in order to release the NEMS in an in-house post-CMOS process. Two different NEMS resonators are designed: 60 nm × 100 nm polysilicon and 90 nm × 180 nm copper clamped–clamped beams. The designed polysilicon CC Beam with a length of 1.5 μm, resonates at 232 MHz and is capable to provide the same mass sensitivity than a bottom-up silicon nanowire.

دانلود فوری مقاله + سفارش ترجمه

نسخه انگلیسی مقاله همین الان قابل دانلود است.

هزینه ترجمه مقاله بر اساس تعداد کلمات مقاله انگلیسی محاسبه می شود.

این مقاله شامل 2174 کلمه می باشد.

هزینه ترجمه مقاله توسط مترجمان با تجربه، طبق جدول زیر محاسبه می شود:

شرح تعرفه ترجمه زمان تحویل جمع هزینه
ترجمه تخصصی - سرعت عادی هر کلمه 12 تومان 5 روز بعد از پرداخت 26,088 تومان
ترجمه تخصصی - سرعت فوری هر کلمه 24 تومان 3 روز بعد از پرداخت 52,176 تومان
پس از پرداخت، فوراً می توانید مقاله را دانلود فرمایید.