دانلود مقاله ISI انگلیسی شماره 56103
ترجمه فارسی عنوان مقاله

SrHfO3 به عنوان دی الکتریک گیت برای تکنولوژی CMOS آینده

عنوان انگلیسی
SrHfO3 as gate dielectric for future CMOS technology
کد مقاله سال انتشار تعداد صفحات مقاله انگلیسی ترجمه فارسی
56103 2007 5 صفحه PDF سفارش دهید
دانلود فوری مقاله + سفارش ترجمه

نسخه انگلیسی مقاله همین الان قابل دانلود است.

هزینه ترجمه مقاله بر اساس تعداد کلمات مقاله انگلیسی محاسبه می شود.

این مقاله تقریباً شامل 1938 کلمه می باشد.

هزینه ترجمه مقاله توسط مترجمان با تجربه، طبق جدول زیر محاسبه می شود:

شرح تعرفه ترجمه زمان تحویل جمع هزینه
ترجمه تخصصی - سرعت عادی هر کلمه 18 تومان 5 روز بعد از پرداخت 34,884 تومان
ترجمه تخصصی - سرعت فوری هر کلمه 36 تومان 3 روز بعد از پرداخت 69,768 تومان
پس از پرداخت، فوراً می توانید مقاله را دانلود فرمایید.
منبع

Publisher : Elsevier - Science Direct (الزویر - ساینس دایرکت)

Journal : Microelectronic Engineering, Volume 84, Issues 9–10, September–October 2007, Pages 1869–1873

ترجمه کلمات کلیدی
دی الکتریک گیت بالا κ ؛ ماسفت - شکاف باند و باند آفست؛ تحرک کانال
کلمات کلیدی انگلیسی
High-κ gate dielectrics; Perovskites; MOSFETs; Band gap and band offset; Channel mobility
پیش نمایش مقاله
پیش نمایش مقاله SrHfO3 به عنوان دی الکتریک گیت برای تکنولوژی CMOS آینده

چکیده انگلیسی

Thin epitaxial films of the high-κ perovskite SrHfO3 were grown by molecular beam epitaxy on Si(100) and investigated by ellipsometry and X-ray photoelectron spectroscopy to determine its band gap and valence band offset. Conducting AFM shows a good correlation between topography and current mapping, pointing to direct tunneling conduction. Long channels MOSFETs with low equivalent oxide thickness (EOT) were fabricated and their channel mobility measured. Mobility enhancement can be achieved by post processing annealing in various gases but at the cost of interfacial regrowth. An alternative approach is to increase mobility without changing EOT is by electrically stressing the gate dielectric at ∼150 °C.

دانلود فوری مقاله + سفارش ترجمه

نسخه انگلیسی مقاله همین الان قابل دانلود است.

هزینه ترجمه مقاله بر اساس تعداد کلمات مقاله انگلیسی محاسبه می شود.

این مقاله شامل 1938 کلمه می باشد.

هزینه ترجمه مقاله توسط مترجمان با تجربه، طبق جدول زیر محاسبه می شود:

شرح تعرفه ترجمه زمان تحویل جمع هزینه
ترجمه تخصصی - سرعت عادی هر کلمه 18 تومان 5 روز بعد از پرداخت 34,884 تومان
ترجمه تخصصی - سرعت فوری هر کلمه 36 تومان 3 روز بعد از پرداخت 69,768 تومان
پس از پرداخت، فوراً می توانید مقاله را دانلود فرمایید.