دانلود مقاله ISI انگلیسی شماره 56125
ترجمه فارسی عنوان مقاله

بررسی ایریدیوم به عنوان یک الکترود گیت برای تکنولوژی CMOS زیر میکرون عمیق

عنوان انگلیسی
Investigation of iridium as a gate electrode for deep sub-micron CMOS technology
کد مقاله سال انتشار تعداد صفحات مقاله انگلیسی ترجمه فارسی
56125 2003 4 صفحه PDF سفارش دهید
دانلود فوری مقاله + سفارش ترجمه

نسخه انگلیسی مقاله همین الان قابل دانلود است.

هزینه ترجمه مقاله بر اساس تعداد کلمات مقاله انگلیسی محاسبه می شود.

این مقاله تقریباً شامل 1561 کلمه می باشد.

هزینه ترجمه مقاله توسط مترجمان با تجربه، طبق جدول زیر محاسبه می شود:

شرح تعرفه ترجمه زمان تحویل جمع هزینه
ترجمه تخصصی - سرعت عادی هر کلمه 18 تومان 4 روز بعد از پرداخت 28,098 تومان
ترجمه تخصصی - سرعت فوری هر کلمه 36 تومان 2 روز بعد از پرداخت 56,196 تومان
پس از پرداخت، فوراً می توانید مقاله را دانلود فرمایید.
منبع

Publisher : Elsevier - Science Direct (الزویر - ساینس دایرکت)

Journal : Microelectronic Engineering, Volume 70, Issues 2–4, November 2003, Pages 373–376

ترجمه کلمات کلیدی
گیت فلزی؛ تابع کار؛ ایریدیوم
کلمات کلیدی انگلیسی
Metal gate; Work function; Iridium
پیش نمایش مقاله
پیش نمایش مقاله بررسی ایریدیوم به عنوان یک الکترود گیت برای تکنولوژی CMOS زیر میکرون عمیق

چکیده انگلیسی

The physical and electrical properties of an Ir/SiO2/Si stack were evaluated for advanced gate electrode application. The thermal stability of the stack was studied on MOS capacitors annealed at temperatures between 500 and 1000 °C in N2 ambient for 30 s followed by forming gas anneal (FGA) at 420 °C for 20 min. The work function of iridium, found to be 4.9 eV, is stable up to 900 °C, making it a good candidate as PMOS electrode. In addition, no evidence was found for any chemical reaction at the interface between Ir and SiO2.

دانلود فوری مقاله + سفارش ترجمه

نسخه انگلیسی مقاله همین الان قابل دانلود است.

هزینه ترجمه مقاله بر اساس تعداد کلمات مقاله انگلیسی محاسبه می شود.

این مقاله شامل 1561 کلمه می باشد.

هزینه ترجمه مقاله توسط مترجمان با تجربه، طبق جدول زیر محاسبه می شود:

شرح تعرفه ترجمه زمان تحویل جمع هزینه
ترجمه تخصصی - سرعت عادی هر کلمه 18 تومان 4 روز بعد از پرداخت 28,098 تومان
ترجمه تخصصی - سرعت فوری هر کلمه 36 تومان 2 روز بعد از پرداخت 56,196 تومان
پس از پرداخت، فوراً می توانید مقاله را دانلود فرمایید.