دانلود مقاله ISI انگلیسی شماره 56193
ترجمه فارسی عنوان مقاله

نیترید سیلیکون فوق العاده نازک با رسوب شیمیایی بخار سیم داغ (HWCVD) برای فن آوری های CMOS عمیق زیر میکرون

عنوان انگلیسی
Ultra-thin silicon nitride by hot wire chemical vapor deposition (HWCVD) for deep sub-micron CMOS technologies
کد مقاله سال انتشار تعداد صفحات مقاله انگلیسی ترجمه فارسی
56193 2002 5 صفحه PDF سفارش دهید
دانلود فوری مقاله + سفارش ترجمه

نسخه انگلیسی مقاله همین الان قابل دانلود است.

هزینه ترجمه مقاله بر اساس تعداد کلمات مقاله انگلیسی محاسبه می شود.

این مقاله تقریباً شامل 1369 کلمه می باشد.

هزینه ترجمه مقاله توسط مترجمان با تجربه، طبق جدول زیر محاسبه می شود:

شرح تعرفه ترجمه زمان تحویل جمع هزینه
ترجمه تخصصی - سرعت عادی هر کلمه 12 تومان 4 روز بعد از پرداخت 16,428 تومان
ترجمه تخصصی - سرعت فوری هر کلمه 24 تومان 2 روز بعد از پرداخت 32,856 تومان
پس از پرداخت، فوراً می توانید مقاله را دانلود فرمایید.
منبع

Publisher : Elsevier - Science Direct (الزویر - ساینس دایرکت)

Journal : Microelectronic Engineering, Volumes 61–62, July 2002, Pages 625–629

ترجمه کلمات کلیدی
نیترید سیلیکون با دمای پایین ؛دی الکتریک K بالا ؛ HWCVD
کلمات کلیدی انگلیسی
Low-temperature silicon nitride (Si3N4); High-K dielectric; HWCVD
پیش نمایش مقاله
پیش نمایش مقاله نیترید سیلیکون فوق العاده نازک با رسوب شیمیایی بخار سیم داغ (HWCVD) برای فن آوری های CMOS عمیق زیر میکرون

چکیده انگلیسی

Silicon nitride is considered a promising candidate to replace thermal oxide dielectrics, as the latter is reaching its scaling limits due to the excessive increase in the gate tunneling leakage current. The novel hot wire chemical vapor deposition (HWCVD) technique shows promise for gate quality silicon nitride film yields at 250 °C while maintaining their primary advantage of a higher dielectric constant of 7.1. In this paper we report the results of our efforts towards developing ultra-thin HWCVD silicon nitride as an advanced gate dielectric for the replacement of thermal gate oxides in future generations of ultra large scale integration (ULSI) devices.

دانلود فوری مقاله + سفارش ترجمه

نسخه انگلیسی مقاله همین الان قابل دانلود است.

هزینه ترجمه مقاله بر اساس تعداد کلمات مقاله انگلیسی محاسبه می شود.

این مقاله شامل 1369 کلمه می باشد.

هزینه ترجمه مقاله توسط مترجمان با تجربه، طبق جدول زیر محاسبه می شود:

شرح تعرفه ترجمه زمان تحویل جمع هزینه
ترجمه تخصصی - سرعت عادی هر کلمه 12 تومان 4 روز بعد از پرداخت 16,428 تومان
ترجمه تخصصی - سرعت فوری هر کلمه 24 تومان 2 روز بعد از پرداخت 32,856 تومان
پس از پرداخت، فوراً می توانید مقاله را دانلود فرمایید.