دانلود مقاله ISI انگلیسی شماره 57727
عنوان فارسی مقاله

خازن های فلزی - مقره - فلزی با Ce–Al–O توسعه یافته MOCVD به عنوان یک دی الکتریک

کد مقاله سال انتشار مقاله انگلیسی ترجمه فارسی تعداد کلمات
57727 2011 4 صفحه PDF سفارش دهید محاسبه نشده
خرید مقاله
پس از پرداخت، فوراً می توانید مقاله را دانلود فرمایید.
عنوان انگلیسی
Metal–insulator–metal capacitors with MOCVD grown Ce–Al–O as a dielectric
منبع

Publisher : Elsevier - Science Direct (الزویر - ساینس دایرکت)

Journal : Microelectronic Engineering, Volume 88, Issue 7, July 2011, Pages 1529–1532

کلمات کلیدی
MIM - Ce–Al–O - MOCVD - دی الکتریک
پیش نمایش مقاله
پیش نمایش مقاله خازن های فلزی - مقره - فلزی با Ce–Al–O توسعه یافته MOCVD به عنوان یک دی الکتریک

چکیده انگلیسی

Ce–Al–O thin films were prepared on 70 nm TiN/Si(1 0 0) substrates by pulsed injection metal organic chemical vapor deposition (PI-MOCVD) for metal–insulator–metal (MIM) applications. Depositions were carried out at 400 °C using two separate Ce and Al precursors. In order to get Ce–Al–O films with different stoichiometry, Al2O3 and CeO2 were mixed with different Ce:Al precursors’ ratios. According to the XRD analysis, the as deposited films were amorphous if more aluminum was injected than cerium, and crystalline – if they are cerium rich. Electrical properties have been investigated in MIM capacitors after e-beam evaporation of Au top electrodes. Oxides possess a dielectric constant of 10–20 in combination with leakage current densities as low as 10−5 A/cm2 at −2 V. The post deposition annealing (PDA) at 600 °C and 850 °C in N2 for 5 min lead to the diffusion of Ti from TiN bottom electrode and formation of the rutile TiO2 phase. Nevertheless, CeAlO3 films were obtained if the ratio of injected Ce:Al was 1:1. The k values increased to 60 in this case, but the leakage current density worsened to 10−3 A/cm2 at −2 V.

خرید مقاله
پس از پرداخت، فوراً می توانید مقاله را دانلود فرمایید.