ترجمه فارسی عنوان مقاله
تغذیه الکتریکی برای بسته بندی خلاء با استفاده از باند دوطرفه ای آنتی ویبره سیلیکون بر روی دیافراگم
عنوان انگلیسی
Electric feed-through for vacuum package using double-side anodic bonding of silicon-on-insulator wafer
کد مقاله | سال انتشار | تعداد صفحات مقاله انگلیسی |
---|---|---|
57644 | 2013 | 4 صفحه PDF |
منبع
Publisher : Elsevier - Science Direct (الزویر - ساینس دایرکت)
Journal : Journal of Electrostatics, Volume 71, Issue 2, April 2013, Pages 130–133
ترجمه کلمات کلیدی
برق خوراک، پیوند آنودیک دوطرفه، سیلیکون روی مقره، بسته خلاء
کلمات کلیدی انگلیسی
Electric feed-through; Double-side anodic bonding; Silicon-on-insulator; Vacuum package