ترجمه فارسی عنوان مقاله
روش مدل سازی و طراحی دیافراگم با استفاده از حسگرهای حساس با حساسیت بالا بر روی سنسور فشار دیفرانسیل
عنوان انگلیسی
Computer aided modelling and diaphragm design approach for high sensitivity silicon-on-insulator pressure sensors
کد مقاله | سال انتشار | تعداد صفحات مقاله انگلیسی |
---|---|---|
57756 | 2011 | 13 صفحه PDF |
منبع
Publisher : Elsevier - Science Direct (الزویر - ساینس دایرکت)
Journal : Measurement, Volume 44, Issue 10, December 2011, Pages 1924–1936