ترجمه فارسی عنوان مقاله
یک سنسور هیدروژن نوری بر روی یک پلت فرم سیلیکون بر روی مقره: اثر ضخامت فیلم پالادیوم
عنوان انگلیسی
An integrated optical hydrogen sensor on a silicon-on-insulator platform: Effects of palladium film thickness
کد مقاله | سال انتشار | تعداد صفحات مقاله انگلیسی |
---|---|---|
57619 | 2015 | 5 صفحه PDF |
منبع
Publisher : Elsevier - Science Direct (الزویر - ساینس دایرکت)
Journal : Sensors and Actuators B: Chemical, Volume 216, September 2015, Pages 6–10
ترجمه کلمات کلیدی
سنسورها، دستگاه های یکپارچه اپتیک، سنسور هیدروژن، حسگر نوری
کلمات کلیدی انگلیسی
Sensors; Integrated optics devices; Hydrogen sensor; Optical sensing
ترجمه چکیده
در این مقاله، طراحی و نمایش تجربی یک سنسور هیدروژن نوری مبتنی بر سیلیکون بر روی مقره ارائه می شود. ما زمان پاسخ، هیسترزیز و حساسیت دستگاه ما را برای ضخامت های مختلف فیلم پالادیوم تحلیل می کنیم. برای یک فیلم پالادیوم با ضخامت 1 نانومتر، زمان پاسخ حدود 6 سانتیمتر است و حسگر از اثر هیسترزیس رنج میبرد. این ویژگی های جذاب باعث می شود که حسگر برای طیف وسیعی از برنامه ها مفید باشد.