ترجمه فارسی عنوان مقاله

یک سنسور هیدروژن نوری بر روی یک پلت فرم سیلیکون بر روی مقره: اثر ضخامت فیلم پالادیوم

عنوان انگلیسی

An integrated optical hydrogen sensor on a silicon-on-insulator platform: Effects of palladium film thickness

کد مقاله	سال انتشار	تعداد صفحات مقاله انگلیسی
57619	2015	5 صفحه PDF

منبع

Publisher : Elsevier - Science Direct (الزویر - ساینس دایرکت)

Journal : Sensors and Actuators B: Chemical, Volume 216, September 2015, Pages 6–10

ترجمه کلمات کلیدی

سنسورها، دستگاه های یکپارچه اپتیک، سنسور هیدروژن، حسگر نوری

کلمات کلیدی انگلیسی

Sensors; Integrated optics devices; Hydrogen sensor; Optical sensing

ترجمه چکیده

در این مقاله، طراحی و نمایش تجربی یک سنسور هیدروژن نوری مبتنی بر سیلیکون بر روی مقره ارائه می شود. ما زمان پاسخ، هیسترزیز و حساسیت دستگاه ما را برای ضخامت های مختلف فیلم پالادیوم تحلیل می کنیم. برای یک فیلم پالادیوم با ضخامت 1 نانومتر، زمان پاسخ حدود 6 سانتیمتر است و حسگر از اثر هیسترزیس رنج میبرد. این ویژگی های جذاب باعث می شود که حسگر برای طیف وسیعی از برنامه ها مفید باشد.

چکیده انگلیسی

In this paper, we present the design and experimental demonstration of a silicon-on-insulator based optical hydrogen sensor. We analyze the response time, hysteresis and sensitivity of our device for various palladium film thicknesses. For a 1-nm thick palladium film the response time is approximately 6 s and the sensor suffers little from hysteresis effect. These attractive features make the sensor highly useful for a wide range of applications.