ترجمه فارسی عنوان مقاله
ترانشه های زیرمیکون نسبتا بالا روی سیلیکون روی مقره و سیلیکون فله
عنوان انگلیسی
High aspect ratio sub-micron trenches on silicon-on-insulator and bulk silicon
کد مقاله | سال انتشار | تعداد صفحات مقاله انگلیسی |
---|---|---|
57749 | 2011 | 3 صفحه PDF |
منبع
Publisher : Elsevier - Science Direct (الزویر - ساینس دایرکت)
Journal : Microelectronic Engineering, Volume 88, Issue 8, August 2011, Pages 2556–2558