ترجمه فارسی عنوان مقاله
انحراف اولیه از میکروسکوپ غشاء نازک سیلیکون بر روی مقره و ساخت آینه واریفوکال
عنوان انگلیسی
Initial deflection of silicon-on-insulator thin membrane micro-mirror and fabrication of varifocal mirror
کد مقاله | سال انتشار | تعداد صفحات مقاله انگلیسی |
---|---|---|
57772 | 2011 | 7 صفحه PDF |
منبع
Publisher : Elsevier - Science Direct (الزویر - ساینس دایرکت)
Journal : Sensors and Actuators A: Physical, Volume 172, Issue 2, December 2011, Pages 516–522
ترجمه کلمات کلیدی
میکرو آینه، آینه قابل تنظیم، ویفر سیلیکون روی دیافراگم، استرس باقی مانده
کلمات کلیدی انگلیسی
Micro-mirror; Deformable mirror; Silicon-on-insulator wafer; Residual stress