ترجمه فارسی عنوان مقاله
دینامیک فرآیند پر شدن از طریق سیلیکون از طریق تحریک اولتراسونیک در محلول آبکاری
عنوان انگلیسی
Dynamics of filling process of through silicon via under the ultrasonic agitation on the electroplating solution
کد مقاله | سال انتشار | تعداد صفحات مقاله انگلیسی |
---|---|---|
117015 | 2017 | 5 صفحه PDF |
منبع
Publisher : Elsevier - Science Direct (الزویر - ساینس دایرکت)
Journal : Microelectronic Engineering, Volume 180, 5 August 2017, Pages 25-29