بررسی ویژگی های ذرات در معرض آسیب های زیر زمین و تغییرات ساختاری کاربید سیلیکون تک کریستالی تحت تأثیر ماشینکاری با تخریب الکتریکی

Atomic-scale characterization of subsurface damage and structural changes of single-crystal silicon carbide subjected to electrical discharge machining