دانلود مقاله ISI انگلیسی شماره 89039
ترجمه فارسی عنوان مقاله

یک سیستم سنجش مجازی هوشمند با به روز رسانی سازگار برای تولید نیمه هادی

عنوان انگلیسی
An intelligent virtual metrology system with adaptive update for semiconductor manufacturing
کد مقاله سال انتشار تعداد صفحات مقاله انگلیسی ترجمه فارسی
89039 2017 9 صفحه PDF سفارش دهید
دانلود فوری مقاله + سفارش ترجمه

نسخه انگلیسی مقاله همین الان قابل دانلود است.

هزینه ترجمه مقاله بر اساس تعداد کلمات مقاله انگلیسی محاسبه می شود.

این مقاله تقریباً شامل 6394 کلمه می باشد.

هزینه ترجمه مقاله توسط مترجمان با تجربه، طبق جدول زیر محاسبه می شود:

شرح تعرفه ترجمه زمان تحویل جمع هزینه
ترجمه تخصصی - سرعت عادی هر کلمه 55 تومان 12 روز بعد از پرداخت 351,670 تومان
ترجمه تخصصی - سرعت فوری هر کلمه 110 تومان 6 روز بعد از پرداخت 703,340 تومان
پس از پرداخت، فوراً می توانید مقاله را دانلود فرمایید.
تولید محتوا برای سایت شما
پایگاه ISIArticles آمادگی دارد با همکاری مجموعه «شهر محتوا» با بهره گیری از منابع معتبر علمی، برای کتاب، سایت، وبلاگ، نشریه و سایر رسانه های شما، به زبان فارسی «تولید محتوا» نماید.
  • تولید محتوا با مقالات ISI برای سایت یا وبلاگ شما
  • تولید محتوا با مقالات ISI برای کتاب شما
  • تولید محتوا با مقالات ISI برای نشریه یا رسانه شما
  • و...

پیشنهاد می کنیم کیفیت محتوای سایت خود را با استفاده از منابع علمی، افزایش دهید.

سفارش تولید محتوا کد تخفیف 10 درصدی: isiArticles
منبع

Publisher : Elsevier - Science Direct (الزویر - ساینس دایرکت)

Journal : Journal of Process Control, Volume 52, April 2017, Pages 66-74

پیش نمایش مقاله
پیش نمایش مقاله یک سیستم سنجش مجازی هوشمند با به روز رسانی سازگار برای تولید نیمه هادی

چکیده انگلیسی

Virtual metrology involves the estimation of metrology values using a prediction model instead of metrological equipment, thereby providing an efficient means for wafer-to-wafer quality control. Because wafer characteristics change over time according to the influence of several factors in the manufacturing process, the prediction model should be suitably updated in view of recent actual metrology results. This gives rise to a trade-off relationship, as more frequent updates result in a higher accuracy for virtual metrology, while also incurring a heavier cost in actual metrology. In this paper, we propose an intelligent virtual metrology system to achieve a superior metrology performance with lower costs. By employing an ensemble of artificial neural networks as the prediction model, the prediction, reliability estimation, and model update are successfully integrated into the proposed virtual metrology system. In this system, actual metrology is only performed for those wafers where the current prediction model cannot perform reliable predictions. When actual metrology is performed, the prediction model is instantly updated to incorporate the results. Consequently, the actual metrology ratio is automatically adjusted according to the corresponding circumstances. We demonstrate the effectiveness of the method through experimental validation on actual datasets.

دانلود فوری مقاله + سفارش ترجمه

نسخه انگلیسی مقاله همین الان قابل دانلود است.

هزینه ترجمه مقاله بر اساس تعداد کلمات مقاله انگلیسی محاسبه می شود.

این مقاله شامل 6394 کلمه می باشد.

هزینه ترجمه مقاله توسط مترجمان با تجربه، طبق جدول زیر محاسبه می شود:

شرح تعرفه ترجمه زمان تحویل جمع هزینه
ترجمه تخصصی - سرعت عادی هر کلمه 55 تومان 12 روز بعد از پرداخت 351,670 تومان
ترجمه تخصصی - سرعت فوری هر کلمه 110 تومان 6 روز بعد از پرداخت 703,340 تومان
پس از پرداخت، فوراً می توانید مقاله را دانلود فرمایید.