ترجمه فارسی عنوان مقاله
مهندسی برش الماس برای عوامل استرس زا SiGe/Si در تکنولوژی CMOS پیشرفته
عنوان انگلیسی
Facet engineering for SiGe/Si stressors in advanced CMOS technology
کد مقاله | سال انتشار | تعداد صفحات مقاله انگلیسی |
---|---|---|
56073 | 2015 | 4 صفحه PDF |
منبع
Publisher : Elsevier - Science Direct (الزویر - ساینس دایرکت)
Journal : Solid-State Electronics, Volume 110, August 2015, Pages 19–22
ترجمه کلمات کلیدی
عوامل استرس زا؛ Sige؛ درپوش Si - فکتینگ؛
کلمات کلیدی انگلیسی
Stressors; SiGe; Si cap; Faceting; Silicidation