ترجمه فارسی عنوان مقاله
چارچوب شبیه سازی یکپارچه پردازش پلاسما، ایجاد ارتباط بین مدل پلاسما در مقیاس ابزار دو بعدی با مقیاس ویژگی های شبیه سازی
عنوان انگلیسی
Integrated plasma processing simulation framework, linking tool scale plasma models with 2D feature scale etch simulator
کد مقاله | سال انتشار | تعداد صفحات مقاله انگلیسی | ترجمه فارسی |
---|---|---|---|
11432 | 2009 | 3 صفحه PDF | سفارش دهید |
دانلود فوری مقاله + سفارش ترجمه
نسخه انگلیسی مقاله همین الان قابل دانلود است.
هزینه ترجمه مقاله بر اساس تعداد کلمات مقاله انگلیسی محاسبه می شود.
این مقاله تقریباً شامل 2022 کلمه می باشد.
هزینه ترجمه مقاله توسط مترجمان با تجربه، طبق جدول زیر محاسبه می شود:
شرح | تعرفه ترجمه | زمان تحویل | جمع هزینه |
---|---|---|---|
ترجمه تخصصی - سرعت عادی | هر کلمه 90 تومان | 5 روز بعد از پرداخت | 181,980 تومان |
ترجمه تخصصی - سرعت فوری | هر کلمه 180 تومان | 3 روز بعد از پرداخت | 363,960 تومان |
پس از پرداخت، فوراً می توانید مقاله را دانلود فرمایید.
منبع

Publisher : Elsevier - Science Direct (الزویر - ساینس دایرکت)
Journal : Microelectronic Engineering, , Volume 86, Issues 4–6, April–June 2009, Pages 976-978
ترجمه کلمات کلیدی
حکاکی با پلاسما -
شبیه سازی -
کلمات کلیدی انگلیسی
Plasma etching,
Simulation,