دانلود مقاله ISI انگلیسی شماره 95847
ترجمه فارسی عنوان مقاله

عملکرد ناشی از سطوح رشته ای: یک مطالعه شبیه سازی

عنوان انگلیسی
Sputter yield of rippled surfaces: A simulation study
کد مقاله سال انتشار تعداد صفحات مقاله انگلیسی
95847 2017 7 صفحه PDF
منبع

Publisher : Elsevier - Science Direct (الزویر - ساینس دایرکت)

Journal : Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms, Volume 412, 1 December 2017, Pages 207-213

ترجمه کلمات کلیدی
بمباران یون لکه های سطحی، سطوح ریز ریز، کربن آمورف، شبیه سازی رایانهای،
کلمات کلیدی انگلیسی
Ion bombardment; Surface sputtering; Rippled surfaces; Amorphous carbon; Computer simulation;
پیش نمایش مقاله
پیش نمایش مقاله  عملکرد ناشی از سطوح رشته ای: یک مطالعه شبیه سازی

چکیده انگلیسی

Atomistic (binary-collision) simulation is used to study the sputter yield from rippled surfaces in a wide range of ion incidence angles. Most simulations refer to amorphous carbon bombarded with 7 keV Ga ions, and sinusoidal ripple morphology is assumed. Results are compared with the analytical predictions and Monte Carlo simulations based on continuum models of sputtering from sine- and ridge-shaped surfaces. Both atomistic and Monte Carlo simulations do not confirm a sharp increase in the sputter yield with increasing the ripple amplitude predicted theoretically (Makeev and Barabási, 2004). Significant differences between the results are also observed in the yield dependence on the angle of incidence.