ترجمه فارسی عنوان مقاله
مطالعات شبیه سازی تصادفی مقاومت مولکولی برای گره تکنولوژی 32 نانومتری
عنوان انگلیسی
Stochastic simulation studies of molecular resists for the 32 nm technology node
کد مقاله | سال انتشار | تعداد صفحات مقاله انگلیسی |
---|---|---|
9848 | 2008 | 6 صفحه PDF |
منبع
Publisher : Elsevier - Science Direct (الزویر - ساینس دایرکت)
Journal : Microelectronic Engineering, , Volume 85, Issues 5–6, May–June 2008, Pages 949-954
ترجمه کلمات کلیدی
مقاومت مولکولی -
لیتوگرافی با وضوح بالا -
شبیه سازی فرآیند -
کلمات کلیدی انگلیسی