ترجمه فارسی عنوان مقاله
تطبیق محفظه نیمههادی هدایت نشده با توجه به مقایسه شکل
عنوان انگلیسی
Unsupervised Semiconductor chamber matching based on shape comparison
| کد مقاله | سال انتشار | تعداد صفحات مقاله انگلیسی |
|---|---|---|
| 108211 | 2017 | 6 صفحه PDF |
منبع
Publisher : Elsevier - Science Direct (الزویر - ساینس دایرکت)
Journal : IFAC-PapersOnLine, Volume 50, Issue 1, July 2017, Pages 3905-3910
ترجمه کلمات کلیدی
نظارت آماری، فرآیند نیمه هادی، تطبیق اتاق طبقه بندی بدون نظارت، مقایسه شکل،
کلمات کلیدی انگلیسی
statistical monitoring; semiconductor process; chamber matching; unsupervised classification; shape comparison;
ترجمه چکیده
این روش هر دو محفظه و سنسور را تشخیص می دهد که در آن گسل وجود دارد، و سپس کمک به فعال کردن تعمیرات اصلاحی. نتایج برنامه ها با دو نمونه از شکست های صنعتی نیمه هادی واقعی نشان داده شده است.
پیش نمایش مقاله
